文摘:介紹了低溫等離子體、光催化及三種新技術對***內外廢氣凈化原理及研究進展，并對其發展前景和研究方向進行了論述。這些新技術不僅可以有效地解決技術問題,和具有低投資、低操作成本、停留時間短、效率高、穩定、反應和無二次污染等,徹底克服許多傳統方法的缺陷,將在低濃度揮發性有機化合物的儀器廢物管理發揮重要作用。

　　隨著經濟的發展和人民生活水平的提高，揮發性有機物(VOCs)污染問題越來越受到人們的關注。揮發性有機化合物的儀器是指存在于空氣在室溫下蒸汽壓***于70.9 lPa,沸點低于260℃的揮發性有機物質,被認為是一個灰塵后***二個主要類型的空氣污染物。1990年《清潔空氣法修正案》列出了189種有毒有害物質，其中***部分是VOCs。1993年~ 2003年我***提出了***氣污染物綜合排放標準、污染物排放標準的惡臭和“室內空氣質量標準”，因此開發適用的VOCs控制技術勢在必行。

　　因為低濃度有機廢氣中污染物通常(< 3000 mg / m3)、***量、廣泛的表面污染,如熱焚燒和催化燃燒、縮合、傳統的處理技術,如吸收和吸附往往不適用,不不能滿足其處理效果的要求,投資和運行成本過高,人們尋求和開發新的應用技術。

　　等離子體是包含***量電子、離子、、中性原子、激發原子、光子和基的***四種物質。總正電荷和負電荷數等于電中性，但它具有傳導和電磁影響的性質，顯示出高的化學活性。根據系統能態、溫度和離子密度，可以將等離子體分為高溫等離子體和低溫等離子體(包括熱等離子體和冷等離子體)。高溫等離子體的電離程度相近，各種粒子的溫度幾乎相同，系統處于熱力學平衡態，主要應用于受控熱核反應的研究。低溫等離子體處于熱力學非平衡狀態，不同粒子的溫度不同。

　　低溫等離子體可以通過前面陡峭的脈沖寬度(納秒)的高壓脈沖放電在***氣壓力下,高能電子和O˙哦˙活性粒子等各種污染物CO,HC和氮氧化物,襪,作品,如硫化氫、RSH成二氧化碳,水,N2,年代,無害的或更少的有害物質,如二氧化硫廢氣凈化。它能導致一些在正常情況下難以執行的化學反應，即使是在很短的時間內，也是低濃度VOCs治理的尖端技術。

　　低溫等離子體主要由氣體放電產生，與現代工業密切相關，被廣泛應用。放電模式可分為輝光放電、電暈放電、介質放電、射頻放電和微波放電。脈沖電暈是一種新型等離子體技術，屬于冷等離子體。它可以在正常的壓力下工作，低溫，中等能量，所以它通常用于處理有害氣體，如VOCs。它***早是在上世紀80年代中期由Masuda和Mizuno提出的，在中***、日本、俄羅斯和都有研究。[1,2]。

　　摘要研究了金屬氧化物催化活性的低溫等離子體化學處理中對有害空氣污染物(HAP)的影響，在沒有MnO2催化劑的情況下，苯的摩爾率為30%，而MnO2作為催化劑，苯率可高達94%。康姆等[4]通過等離子體TiO2催化體系，從1000 mg/ m3的初始濃度下，從初始濃度中去除甲苯氣體的初始濃度